Silicon nitride and silica quarter-wave stacks for low-thermal-noise mirror coatings

This study investigates a multilayer high reflector with new coating materials for next-generation laser interferometer gravitational wave detectors operated at cryogenic temperatures. We use the plasma-enhanced chemical vapor deposition method to deposit amorphous silicon nitride and silica quarter...

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Veröffentlicht in:	Physical review. D 2018-11, Vol.98 (10), p.102001, Article 102001
Hauptverfasser:	Pan, Huang-Wei, Kuo, Ling-Chi, Chang, Lin-An, Chao, Shiuh, Martin, Iain William, Steinlechner, Jessica, Fletcher, Mark
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Absorption Amorphous materials Amorphous silicon Bilayers Coatings Cryogenic temperature Dependence Gravitational waves Ion beams Multilayers Noise Organic chemistry Plasma enhanced chemical vapor deposition Protective coatings Reflectors Silicon dioxide Silicon nitride Silicon substrates Stacks Tantalum Tantalum oxides Thermal noise
Online-Zugang:	Volltext
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