MoC intermediate layer for FePt magnetic recording media

A (001) textured FePt film was deposited on MoC/CrRu/glass at a substrate temperature of 380 °C by using magnetron sputtering. The MoC conductive intermediate layer was used to resist the Cr diffusion up to high deposition temperatures and promotes the epitaxial growth of the (001) textured FePt fil...

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Veröffentlicht in:Journal of applied physics 2014-05, Vol.115 (17)
Hauptverfasser: Tsai, Jai-Lin, Luo, Qi-Shao, Chen, Po-Ran, Chen, Yi-Hsiu
Format: Artikel
Sprache:eng
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