Chemical state analysis using Auger parameters for XPS spectrum curve fitted with standard Auger spectra

Chemical state analysis is quite important in X‐ray photoelectron spectroscopy. Auger parameter analysis is one of the useful methods to analyze the chemical state in X‐ray photoelectron spectroscopy, because it is not necessary to take the charging effect into account for the analysis of nonconduct...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Surface and interface analysis 2018-11, Vol.50 (11), p.1187-1190
Hauptverfasser: Shima, Masahide, Tsutsumi, Kenichi, Tanaka, Akihiro, Onodera, Hiroshi, Tanemura, Masaki
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!