Optical Fiber-Tip Fabry-Pérot Interferometric Pressure Sensor Based on an In Situ μ-Printed Air Cavity
In this paper, we present a miniature fiber-optic Fabry-Pérot interferometric pressure sensor based on an in situ printed fiber-top air cavity. With an in-house optical 3D μ-printing setup, a suspended SU-8 diaphragm with light scatter is directly printed on the end face of standard optical fiber t...
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Veröffentlicht in: | Journal of lightwave technology 2018-09, Vol.36 (17), p.3618-3623 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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