Structural, Morphological and Mechanical Characterisation of Molybdenum Nitride Thin Films Deposited by a Plasma Focus Device
This research focuses on the characterisation of nanostructured molybdenum nitride (MoN) thin films deposited on glass substrates at room temperature using a low-energy (1.1 kJ) plasma focus device. The nanostructure, surface morphology, electrical resistivity and mechanical properties of MoN thin f...
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Veröffentlicht in: | Journal of chemical research 2017-12, Vol.41 (12), p.699-704 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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