Robotic Manipulation of Highly Irregular Shaped Objects: Application to a Robot Crucible Packing System for Semiconductor Manufacture
The basic technology for a robotic system is developed to automate the packing of polycrystalline silicon nuggets into a fragile fused silica crucible in Czochralski (melt pulling) semiconductor wafer production. The highly irregular shapes of the nuggets and the packing constraints make this a diff...
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Veröffentlicht in: | Journal of manufacturing processes 2002, Vol.4 (1), p.1-15 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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