High aspect ratio metal microcasting by hot embossing for X-ray optics fabrication

Metal microstructured optical elements for grating-based X-ray phase-contrast interferometry were fabricated by using an innovative approach of microcasting: hot embossing technology with low melting temperature (280°C) metal alloy foils and silicon etched templates. A gold-tin alloy (80wt% Au/20wt%...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microelectronic engineering 2017-05, Vol.176, p.6-10
Hauptverfasser:	Romano, L., Vila-Comamala, J., Kagias, M., Vogelsang, K., Schift, H., Stampanoni, M., Jefimovs, K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Alloys Au80Sn20 eutectic alloy Embossing Eutectics Foils Gold base alloys Gratings (spectra) High aspect ratio High aspect ratio gratings Hot embossing Interferometry Low cost Melting Metal gratings Microcasting Microstructure Nanoimprint Optical components Silicon base alloys Structural damage Tin Tin base alloys Wetting X ray optics X-rays
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