Plasma on large surfaces

Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteil...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-08, Vol.29 (4), p.38
Hauptverfasser:	Seyfert, Ulf, Fahland, Matthias, Brauer, Gunter
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Schlagworte:	Coating Equipment costs Evaporation Industrial applications Plasmas (physics) Thin films
Online-Zugang:	Volltext
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