Plasma on large surfaces

Plasma on large surfaces

Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteil...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-08, Vol.29 (4), p.38
Hauptverfasser: Seyfert, Ulf, Fahland, Matthias, Brauer, Gunter
Format: Artikel
Sprache:ger
Schlagworte:
Coating
Equipment costs
Evaporation
Industrial applications
Plasmas (physics)
Thin films
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue 4
container_start_page 38
container_title Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten
container_volume 29
creator Seyfert, Ulf
Fahland, Matthias
Brauer, Gunter
description Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteile sind in vielen Bereichen des Lebens zu finden. Durch den hohen Flächendurchsatz derartiger Anlagen und deren hohen Entwicklungsstand sind die vakuumbedingt höheren Anschaffungskosten dieser Anlagen gegenuber atmosphärischen Abscheideverfahren oftmals nicht das bestimmende wirtschaftliche Moment und bieten in vielen Fällen auch die ökologisch nachhaltigere Lösung. Neue Applikationen können auf einem sehr umfangreichen technologischen und industriellen Erfahrungsschatz aufbauen und innerhalb kurzer Zeit in die Produktion uberfuhrt werden.
doi_str_mv 10.1002/vipr.201700653
format Article
fullrecord <record><control><sourceid>proquest</sourceid><recordid>TN_cdi_proquest_journals_1934159125</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>1934159125</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-proquest_journals_19341591253</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNyrsKwjAUgOGDKBgvqzgGnFvPyaUhsyiODg5uJUgqltrWHOvz6-ADOP3D9wOsCHNCVNv3vU-5QnKIhdUjEGSVypSxZgwCvXEZuuIyhRlzjYgaCyNgfWoCP4LsWtmEdIuSh1SFa-QFTKrQcFz-OofNYX_eHbM-dc8h8qusuyG1XyrJa0PWk7L6v-sDl-YwnA</addsrcrecordid><sourcetype>Aggregation Database</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>article</recordtype><pqid>1934159125</pqid></control><display><type>article</type><title>Plasma on large surfaces</title><source>Access via Wiley Online Library</source><creator>Seyfert, Ulf ; Fahland, Matthias ; Brauer, Gunter</creator><creatorcontrib>Seyfert, Ulf ; Fahland, Matthias ; Brauer, Gunter</creatorcontrib><description>Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteile sind in vielen Bereichen des Lebens zu finden. Durch den hohen Flächendurchsatz derartiger Anlagen und deren hohen Entwicklungsstand sind die vakuumbedingt höheren Anschaffungskosten dieser Anlagen gegenuber atmosphärischen Abscheideverfahren oftmals nicht das bestimmende wirtschaftliche Moment und bieten in vielen Fällen auch die ökologisch nachhaltigere Lösung. Neue Applikationen können auf einem sehr umfangreichen technologischen und industriellen Erfahrungsschatz aufbauen und innerhalb kurzer Zeit in die Produktion uberfuhrt werden.</description><identifier>ISSN: 0947-076X</identifier><identifier>EISSN: 1522-2454</identifier><identifier>DOI: 10.1002/vipr.201700653</identifier><language>ger</language><publisher>Weinheim: Wiley Subscription Services, Inc</publisher><subject>Coating ; Equipment costs ; Evaporation ; Industrial applications ; Plasmas (physics) ; Thin films</subject><ispartof>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-08, Vol.29 (4), p.38</ispartof><rights>Copyright © 2017 WILEY-VCH Verlag GmbH &amp; Co. KGaA, Weinheim</rights><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><link.rule.ids>314,780,784,27924,27925</link.rule.ids></links><search><creatorcontrib>Seyfert, Ulf</creatorcontrib><creatorcontrib>Fahland, Matthias</creatorcontrib><creatorcontrib>Brauer, Gunter</creatorcontrib><title>Plasma on large surfaces</title><title>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</title><description>Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteile sind in vielen Bereichen des Lebens zu finden. Durch den hohen Flächendurchsatz derartiger Anlagen und deren hohen Entwicklungsstand sind die vakuumbedingt höheren Anschaffungskosten dieser Anlagen gegenuber atmosphärischen Abscheideverfahren oftmals nicht das bestimmende wirtschaftliche Moment und bieten in vielen Fällen auch die ökologisch nachhaltigere Lösung. Neue Applikationen können auf einem sehr umfangreichen technologischen und industriellen Erfahrungsschatz aufbauen und innerhalb kurzer Zeit in die Produktion uberfuhrt werden.</description><subject>Coating</subject><subject>Equipment costs</subject><subject>Evaporation</subject><subject>Industrial applications</subject><subject>Plasmas (physics)</subject><subject>Thin films</subject><issn>0947-076X</issn><issn>1522-2454</issn><fulltext>true</fulltext><rsrctype>article</rsrctype><creationdate>2017</creationdate><recordtype>article</recordtype><recordid>eNqNyrsKwjAUgOGDKBgvqzgGnFvPyaUhsyiODg5uJUgqltrWHOvz6-ADOP3D9wOsCHNCVNv3vU-5QnKIhdUjEGSVypSxZgwCvXEZuuIyhRlzjYgaCyNgfWoCP4LsWtmEdIuSh1SFa-QFTKrQcFz-OofNYX_eHbM-dc8h8qusuyG1XyrJa0PWk7L6v-sDl-YwnA</recordid><startdate>20170801</startdate><enddate>20170801</enddate><creator>Seyfert, Ulf</creator><creator>Fahland, Matthias</creator><creator>Brauer, Gunter</creator><general>Wiley Subscription Services, Inc</general><scope>7SR</scope><scope>7U5</scope><scope>8BQ</scope><scope>8FD</scope><scope>JG9</scope><scope>L7M</scope></search><sort><creationdate>20170801</creationdate><title>Plasma on large surfaces</title><author>Seyfert, Ulf ; Fahland, Matthias ; Brauer, Gunter</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-proquest_journals_19341591253</frbrgroupid><rsrctype>articles</rsrctype><prefilter>articles</prefilter><language>ger</language><creationdate>2017</creationdate><topic>Coating</topic><topic>Equipment costs</topic><topic>Evaporation</topic><topic>Industrial applications</topic><topic>Plasmas (physics)</topic><topic>Thin films</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Seyfert, Ulf</creatorcontrib><creatorcontrib>Fahland, Matthias</creatorcontrib><creatorcontrib>Brauer, Gunter</creatorcontrib><collection>Engineered Materials Abstracts</collection><collection>Solid State and Superconductivity Abstracts</collection><collection>METADEX</collection><collection>Technology Research Database</collection><collection>Materials Research Database</collection><collection>Advanced Technologies Database with Aerospace</collection><jtitle>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</jtitle></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext</fulltext></delivery><addata><au>Seyfert, Ulf</au><au>Fahland, Matthias</au><au>Brauer, Gunter</au><format>journal</format><genre>article</genre><ristype>JOUR</ristype><atitle>Plasma on large surfaces</atitle><jtitle>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</jtitle><date>2017-08-01</date><risdate>2017</risdate><volume>29</volume><issue>4</issue><spage>38</spage><pages>38-</pages><issn>0947-076X</issn><eissn>1522-2454</eissn><abstract>Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dunnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteile sind in vielen Bereichen des Lebens zu finden. Durch den hohen Flächendurchsatz derartiger Anlagen und deren hohen Entwicklungsstand sind die vakuumbedingt höheren Anschaffungskosten dieser Anlagen gegenuber atmosphärischen Abscheideverfahren oftmals nicht das bestimmende wirtschaftliche Moment und bieten in vielen Fällen auch die ökologisch nachhaltigere Lösung. Neue Applikationen können auf einem sehr umfangreichen technologischen und industriellen Erfahrungsschatz aufbauen und innerhalb kurzer Zeit in die Produktion uberfuhrt werden.</abstract><cop>Weinheim</cop><pub>Wiley Subscription Services, Inc</pub><doi>10.1002/vipr.201700653</doi></addata></record>
fulltext fulltext
identifier ISSN: 0947-076X
ispartof Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-08, Vol.29 (4), p.38
issn 0947-076X
1522-2454
language ger
recordid cdi_proquest_journals_1934159125
source Access via Wiley Online Library
subjects Coating
Equipment costs
Evaporation
Industrial applications
Plasmas (physics)
Thin films
title Plasma on large surfaces
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-23T12%3A32%3A21IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-proquest&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=Plasma%20on%20large%20surfaces&rft.jtitle=Vakuum%20in%20Forschung%20und%20Praxis%20:%20Zeitschrift%20f%C3%BCr%20Vakuumtechnologie,%20Oberfl%C3%A8achen%20und%20D%C3%BCnne%20Schichten&rft.au=Seyfert,%20Ulf&rft.date=2017-08-01&rft.volume=29&rft.issue=4&rft.spage=38&rft.pages=38-&rft.issn=0947-076X&rft.eissn=1522-2454&rft_id=info:doi/10.1002/vipr.201700653&rft_dat=%3Cproquest%3E1934159125%3C/proquest%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_pqid=1934159125&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true