Improvement of material removal rate of single-crystal diamond by polishing using H^sub 2^O^sub 2^ solution
In this study, we investigated the possibility of improving the material removal rate (MRR) of a single-crystal diamond (100) substrate by a polishing technique that utilizes a chemical reaction with H2O2 solution. To demonstrate the feasibility of improving the MRR of the diamond substrate, we inve...
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Veröffentlicht in: | Diamond and related materials 2016-11, Vol.70, p.39 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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