Advanced Ion Source Technology for High Resolution and Stable FIB Nanofabrication employing Gallium and new Ion Species

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2014-08, Vol.20 (S3), p.312-313
Hauptverfasser:	Bauerdick, S., Sanabia, J. E., Mazarov, P., Fridmann, J., Bruchhaus, L., Jede, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	15 Years of Focused Ion Beams at M & M Advances in Instrumentation Symposia Gallium
Online-Zugang:	Volltext
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