Micro‐Optics for Photolithography

Photolithography is the engine that empowered semiconductor industry to reduce the minimum feature size of the components of a microchip from some 50 microns in the 1960s to below 14 nanometers today. Diffractive and refractive micro‐optical components play a decisive role in modern photolithography...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optik & Photonik 2016-04, Vol.11 (2), p.45-48
1. Verfasser:	Voelkel, Reinhard
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Lasers Optics Semiconductors
Online-Zugang:	Volltext
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