Effects of Ultrasonic Wave in Alkali Etching of Aluminum

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 1995/12/01, Vol.46(12), pp.1189-1190
Hauptverfasser:	MAEJIMA, Masatsugu, SARUWATARI, Koichi, ISAWA, Kazuo, TAKAYA, Matsufumi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Alkali Etching Aluminum Etching Volume Roughness Ultrasonic Wave
Online-Zugang:	Volltext
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