Dynamic Characteristics and Finite Element Model Updating of Micromachined Torsion Structures

In this paper, two experimental techniques, Electronic Speckle Pattern Interferometry and Stroboscopic Interferometry, and two different finite element analysis packages are used to measure or to analyze the frequencies and mode shapes of a micromachined, cross-shaped torsion structure. Four sets of...

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Veröffentlicht in:Applied Mechanics and Materials 2013-01, Vol.284-287, p.1831-1835
Hauptverfasser: Gau, Wei Hsin, Hwang, Yunn Lin, Chen, Kun Nan
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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