Tungsten photochemical vapor deposition mechanism in WF6+H2 system. I: Adspecies excitation model

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1986, Vol.25 (5), p.679-687
Hauptverfasser:	TOYAMA, M, ITOH, H, MORIYA, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Exact sciences and technology Inorganic chemistry and origins of life Kinetics and mechanism of reactions
Online-Zugang:	Volltext
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