Chemical vapor deposition of FeCox and FeCoxOy thin films from Fe―Co carbonyl clusters

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Inorganic chemistry 1988-01, Vol.27 (1), p.8-10
Hauptverfasser:	CZEKAJ, C. L, GEOFFROY, G. L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analysing. Testing. Standards Applied sciences Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Growth from vapor Materials science Measurement of properties and materials state Metals, semimetals and alloys Metals. Metallurgy Methods of crystal growth physics of crystal growth Nondestructive testing Physics Specific materials
Online-Zugang:	Volltext
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