Oxidation of HF-treated Si water surfaces in air

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1990, Vol.68 (10), p.5155-5161
Hauptverfasser: GRÄF, D, GRUNDNER, M, SCHULZ, R, MÜHLHOFF, L
Format: Artikel
Sprache:eng
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