X-RAY-SCATTERING FROM INTERFACIAL ROUGHNESS IN MULTILAYER STRUCTURES

A quantitative theory of the nonspecular scattering of x rays from multilayer structures having rough interfaces is presented. The results are valid for arbitrary polarization and angles of incidence (measured from the normal) less than the critical angle for total external reflection. A structural...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1992-05, Vol.71 (9), p.4286-4298
1. Verfasser: STEARNS, DG
Format: Artikel
Sprache:eng
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