Polycrystalline CVD diamonds films with high electrical mobility

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Science (American Association for the Advancement of Science) 1993, Vol.260 (5112), p.1310-1312
Hauptverfasser:	PLANO, M. A, LANDSTRASS, M. I, PAN, L. S, HAN, S, KANIA, D. R, MCWILLIAMS, S, AGER, J. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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