Formation and diffusion behaviour of intermixed and segragated amorphous layers in sputtered NiCr films on Si

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1993, Vol.73 (8), p.4023-4029
Hauptverfasser:	JU-HYEON LEE, ROZGONYI, G. A, PATNAIK, B. K, KNOESEN, D, ADAMS, D, BALDUCCI, P, SALIH, A. S. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Metals. Metallurgy Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!