Some features of chemical interaction between a fast diffusing impurity and a group VI element in silicon

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1994, Vol.142 (2), p.339-346
Hauptverfasser:	BAKHADIRKHANOV, M. K, ASKAROV, SH. I, NORKULOV, N
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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