Optically and chemically amplified photoresists based on poly(hydroxyaminoester)s

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of materials chemistry 1993, Vol.3 (7), p.761-765
Hauptverfasser:	VANNIKOV, A. V, GRISHINA, A. D, TEDORADZE, M. G, KOSTENKO, L. I, ANIKEEV, A. V, KOBLIK, I. V
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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