Electron-cyclotron-resonance sputtered SrTiO3 thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese journal of applied physics 1996, Vol.35 (9B), p.4963-4966
Hauptverfasser: ITSUMI, M, OHFUJI, S.-I, AKIYA, H
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.35.4963