Comparison of methods for the mechanical characterization of polymers for MEMS applications

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of micromechanics and microengineering 2011-11, Vol.21 (11), p.115027
Hauptverfasser: Wouters, Kristof, Gijsenbergh, Pieter, Puers, Robert
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0960-1317
1361-6439
DOI:10.1088/0960-1317/21/11/115027