Electron heating and the electrical asymmetry effect in dual-frequency capacitive CF4 discharges

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2011-08, Vol.20 (4), p.045008
Hauptverfasser:	Schulze, J, Derzsi, A, Donkó, Z
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Ionization of plasmas Other gas discharges Particle-in-cell method Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma properties Plasma simulation
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