Frequency Tuning of VO2-Coated Buckled Microbridges

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of microelectromechanical systems 2011-06, Vol.20 (3), p.558-560
Hauptverfasser:	MERCED, Emmanuelle, CABRERA, Rafmag, COY, Horacio, FERNANDEZ, Félix E, SEPULVEDA, Nelson
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Mechanical instruments, equipment and techniques Micromechanical devices and systems Physics
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