Methacrylic Silicon-Containing Tercopolymers for Chemically Amplified Resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Polymer science. Series B 2010, Vol.52 (5-6), p.353-361
Hauptverfasser:	BULGAKOVA, S. A, DZHONS, M. M, SEMCHIKOV, Yu. D, SMIRNOVA, N. N
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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