Negative ions in a radio-frequency plasma in CF4

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1991-03, Vol.24 (3), p.261-267
Hauptverfasser:	Jauberteau, J L, Meeusen, G J, Haverlag, M, Kroesen, G M W, Hoog, F J de
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma devices
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