Electronically Temperature Compensated Silicon Bulk Acoustic Resonator Reference Oscillators

The paper describes the design and implementation of an electronically temperature compensated reference oscillator based on capacitive silicon micromechanical resonators. The design of a 5.5-MHz silicon bulk acoustic resonator has been optimized to offer high quality factor (> 100 000) while mai...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE journal of solid-state circuits 2007-06, Vol.42 (6), p.1425-1434
Hauptverfasser: Sundaresan, K., Ho, G.K., Pourkamali, S., Ayazi, F.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!