Electronically Temperature Compensated Silicon Bulk Acoustic Resonator Reference Oscillators
The paper describes the design and implementation of an electronically temperature compensated reference oscillator based on capacitive silicon micromechanical resonators. The design of a 5.5-MHz silicon bulk acoustic resonator has been optimized to offer high quality factor (> 100 000) while mai...
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Veröffentlicht in: | IEEE journal of solid-state circuits 2007-06, Vol.42 (6), p.1425-1434 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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