Atomic layer deposition of TiO2 and Al2O3thin films and nanolaminates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Smart materials and structures 2006, Vol.15 (1), p.S57-S64
Hauptverfasser:	MITCHELL, D. R. G, TRIANI, G, ATTARD, D. J, FINNIE, K. S, EVANS, P. J, BARBE, C. J, BARTLETT, J. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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