XPS study of ion-beam-assisted formation of Si nanostructures in thin SiO2 layers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface and interface analysis 2002, Vol.33 (12), p.914-917
Hauptverfasser:	KESLER, V. G, YANOVSKAYA, S. G, KACHURIN, G. A, LEIER, A. F, LOGVINSKY, L. M
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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