Pulsed laser crystallization of amorphous silicon for polysilicon flat panel imagers

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BOYCE, J. B, LU, J. P, HO, J, STREET, R. A, VAN SCHUYLENBERGH, K, WANG, Y
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Fundamental areas of phenomenology (including applications) Imaging detectors and sensors Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Optical elements, devices, and systems Optics Physics Rheology Solid phase epitaxy growth from solid phases Techniques and apparatus
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0022-3093 1873-4812