Combined rf and Transport Effects in Magnetized Capacitive Discharges

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2006-10, Vol.100 (7)
Hauptverfasser:	Carter, Mark Dwain, Ryan, Philip Michael, Hoffman, D., Lee, W. S., Buchberger, D., Godyak, V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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