Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Tl sub 2 Ba sub 2 CaCu sub 2 O sub x Superconducting Thin Films Using Fluorinated beta -Diketonate Source Reagents
Superconducting Tl sub 2 Ba sub 2 CaCu sub 2 O sub x films were fabricated using a three-step process. Amorphous BaCaCuOF films were deposted on MgO(100) single-crystal substrates by metalorganic chemical vapor deposition at 500 deg C using fluorinated beta -diketonate complexes of Ba, Ca, and Cu. T...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 1990-11, Vol.57 (20), p.2136-2138 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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