Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Tl sub 2 Ba sub 2 CaCu sub 2 O sub x Superconducting Thin Films Using Fluorinated beta -Diketonate Source Reagents

Superconducting Tl sub 2 Ba sub 2 CaCu sub 2 O sub x films were fabricated using a three-step process. Amorphous BaCaCuOF films were deposted on MgO(100) single-crystal substrates by metalorganic chemical vapor deposition at 500 deg C using fluorinated beta -diketonate complexes of Ba, Ca, and Cu. T...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 1990-11, Vol.57 (20), p.2136-2138
Hauptverfasser: Hamaguchi, N, Gardiner, R, Kirlin, P S, Dye, R, Hubbard, K M, Muenchausen, R E
Format: Artikel
Sprache:eng
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