Optical properties of p–i–n structures based on amorphous hydrogenated silicon with silicon nanocrystals formed via nanosecond laser annealing
Silicon nanocrystals are formed in the i layers of p–i–n structures based on a -Si:H using pulsed laser annealing. An excimer XeCl laser with a wavelength of 308 nm and a pulse duration of 15 ns is used. The laser fluence is varied from 100 (below the melting threshold) to 250 mJ/cm 2 (above the thr...
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Veröffentlicht in: | Semiconductors (Woodbury, N.Y.) N.Y.), 2016-07, Vol.50 (7), p.935-940 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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