Observation of transient electric fields in particle-in-cell simulation of capacitively coupled discharges

The analytical prediction of the presence of transient electric field regions between the bulk plasma and sheath edge in radio frequency capacitively coupled plasma (RF-CCP) discharges has been reported by Kaganovich [Phys. Rev. Lett. 89, 265006 (2002)]. In this paper, we have used the semi-infinite...

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Veröffentlicht in:Physics of plasmas 2014-07, Vol.21 (7)
Hauptverfasser: Sharma, S., Mishra, S. K., Kaw, Predhiman K.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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