Tuning the properties of Ge-quantum dots superlattices in amorphous silica matrix through deposition conditions
In this work, we investigate the structural properties of Ge quantum dot lattices in amorphous silica matrix, prepared by low-temperature magnetron sputtering deposition of (Ge+SiO{sub 2})/SiO{sub 2} multilayers. The dependence of quantum dot shape, size, separation, and arrangement type on the Ge-r...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 2012-04, Vol.111 (7) |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!