Formation of stable direct current microhollow cathode discharge by venturi gas flow system for remote plasma source in atmosphere
We introduce a microhollow cathode configuration with venturi gas flow to ambient air in order to obtain glow discharge at atmospheric pressure. Stable microhollow cathode discharge was formed in a 200 μ m diameter at 9 mA and the optimum value of gas velocity × diameter for hollow cathode effect wa...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 2008-02, Vol.92 (6), p.061503-061503-3 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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