Formation of stable direct current microhollow cathode discharge by venturi gas flow system for remote plasma source in atmosphere

We introduce a microhollow cathode configuration with venturi gas flow to ambient air in order to obtain glow discharge at atmospheric pressure. Stable microhollow cathode discharge was formed in a 200 μ m diameter at 9 mA and the optimum value of gas velocity × diameter for hollow cathode effect wa...

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Veröffentlicht in:Applied physics letters 2008-02, Vol.92 (6), p.061503-061503-3
Hauptverfasser: Park, Ki Wan, Lee, Tae Il, Hwang, Hyeon Seok, Noh, Joo Hyon, Baik, Hong Koo, Song, Kie Moon
Format: Artikel
Sprache:eng
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