Microhollow cathode discharge excimer lamps

Microhollow cathode discharges are high-pressure, nonequilibrium gas discharges between a hollow cathode and a planar or hollow anode with electrode dimensions in the 100 μm range. The large concentration of high-energy electrons, in combination with the high-gas density favors excimer formation. Ex...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physics of Plasmas 2000-05, Vol.7 (5), p.2186-2191
Hauptverfasser:	Schoenbach, Karl H., El-Habachi, Ahmed, Moselhy, Mohamed M., Shi, Wenhui, Stark, Robert H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	70 PLASMA PHYSICS AND FUSION TECHNOLOGY ARGON ELECTRIC DISCHARGES EXCIMER LASERS EXPERIMENTAL DATA GAS DISCHARGE TUBES HOLLOW CATHODES ULTRAVIOLET SPECTRA XENON
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