Resolving the Heat Generated from ZrO 2 Atomic Layer Deposition Surface Reactions

In situ pyroelectric calorimetry and spectroscopic ellipsometry were used to investigate surface reactions in atomic layer deposition (ALD) of zirconium oxide (ZrO ). Calibrated and time-resolved in situ ALD calorimetry provides new insights into the thermodynamics and kinetics of saturating surface...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Angewandte Chemie (International ed.) 2023-07, Vol.62 (30), p.e202301843
Hauptverfasser:	Bielinski, Ashley R, Kamphaus, Ethan P, Cheng, Lei, Martinson, Alex B F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!