2D materials-assisted heterogeneous integration of semiconductor membranes toward functional devices
Heterogeneous integration techniques allow the coupling of highly lattice-mismatched solid-state membranes, including semiconductors, oxides, and two-dimensional materials, to synergistically fuse the functionalities. The formation of heterostructures generally requires two processes: the combinatio...
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 2022-11, Vol.132 (19) |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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