Realization of a wide steering end-fire facet optical phased array using silicon rich silicon nitride

The design, fabrication, and characterization of a 16-element optical phased array (OPA) using a high index (n = 3.1) silicon-rich silicon nitride (SRN) is demonstrated. We present one-dimensional beam steering with end-fire facet antennas over a wide steering range of >115° at a fixed wavelength...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics letters 2023-02, Vol.48 (3), p.807-810
Hauptverfasser:	Nejadriahi, Hani, Gaur, Prabhav, Johnson, Karl, Pappert, Steve, Fainman, Yeshaiahu, Yu, Paul
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Beam steering Boresights Phased arrays Photon absorption Silicon nitride
Online-Zugang:	Volltext
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