Chirped-grating spectrometer-on-a-chip

We demonstrate an on-chip spectrometer readily integrable with CMOS electronics. The structure is comprised of a SiO 2 /Si 3 N 4 /SiO 2 waveguide atop a silicon substrate. A transversely chirped grating is fabricated, in a single-step optical lithography process, on a portion of the waveguide to pro...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics express 2020-08, Vol.28 (17), p.24501-24510
Hauptverfasser:	Nezhadbadeh, Shima, Neumann, A., Zarkesh-Ha, Payman, Brueck, S. R. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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