Vacuum-Assisted Ex situ Lift Out for Plan View FIB Specimen Preparation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2018-08, Vol.24 (S1), p.832-833
Hauptverfasser:	Lowery, Lisa Marie, Giannuzzi, Lucille A., Lu, Ping, Kotula, Paul G., Michael, Joseph R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical and Instrumentation Science Symposia Specimen preparation The FIB-SEM Laboratory: Sample Preparation and Beyond Vacuum
Online-Zugang:	Volltext
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