On the thermal stability of physical vapor deposited oxide-hardened nanocrystalline gold thin films

We describe a correlation between electrical resistivity and grain size for PVD synthesized polycrystalline oxide-hardened metal-matrix thin films in oxide-dilute (

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 2015-04, Vol.117 (14)
Hauptverfasser: Argibay, N., Mogonye, J. E., Michael, J. R., Goeke, R. S., Kotula, P. G., Scharf, T. W., Dugger, M. T., Prasad, S. V.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:We describe a correlation between electrical resistivity and grain size for PVD synthesized polycrystalline oxide-hardened metal-matrix thin films in oxide-dilute (
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.4915922