On the thermal stability of physical vapor deposited oxide-hardened nanocrystalline gold thin films
We describe a correlation between electrical resistivity and grain size for PVD synthesized polycrystalline oxide-hardened metal-matrix thin films in oxide-dilute (
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 2015-04, Vol.117 (14) |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | We describe a correlation between electrical resistivity and grain size for PVD synthesized polycrystalline oxide-hardened metal-matrix thin films in oxide-dilute ( |
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ISSN: | 0021-8979 1089-7550 |
DOI: | 10.1063/1.4915922 |