A New Type of High Bandwidth RF MEMS Switch

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of semiconductor technology and science 2002, Vol.2 (4), p.237-245
Hauptverfasser:	Bernd Schauwecker, Karl M. Strohm, Winfried Simon, Jan Mehner, Johann-Friedrich Luy
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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