Response to "Comment on 'MEMS-based high speed scanning probe microscopy"

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Review of Scientific Instruments 2010, Vol.81 (11), p.117102
Hauptverfasser:	Disseldorp, E.C.M., Tabak, F.C., Katan, A.J., Hesselberth, M.B.S., Oosterkamp, T.H., Frenken, J.W.M., Spengen, W.M. van
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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