Influence of template fill in grapho-epitaxy DSA

Directed self-assembly (DSA) of block copolymers (BCP) is considered a promising patterning approach for the 7 nm node and beyond. Specifically, a grapho-epitaxy process using a cylindrical phase BCP may offer an efficient solution for patterning randomly distributed contact holes with sub-resolutio...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Doise, Jan, Bekaert, Joost, Chan, Boon Teik, Hong, SungEun, Lin, Guanyang, Gronheid, Roel
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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