하향식 마이크로 제조공정과 상향식 자가조립을 이용한 나노소재 박막 디바이스 구현
이 글에서는 하향식 마이크로 제조공정을 이용하여 디바이스 플랫폼을 만들고 상향식 자가조립으로 나노소재 박막을 만드는 공정을 소개하고, 나노소재 박막의 선택적 패터닝을 통해 디바이스를 구현한 연구에 대해 소개하고자 한다....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Kigye chŏnŏl = Journal of the Korean Society of Mechnical Engineers 2012, Vol.52 (6), p.48-51 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | kor |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | 이 글에서는 하향식 마이크로 제조공정을 이용하여 디바이스 플랫폼을 만들고 상향식 자가조립으로 나노소재 박막을 만드는 공정을 소개하고, 나노소재 박막의 선택적 패터닝을 통해 디바이스를 구현한 연구에 대해 소개하고자 한다. |
|---|---|
| ISSN: | 1226-7287 |