Technisch-wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen

Technisch-wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen

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Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2009-08, Vol.21 (4), p.31-37
Hauptverfasser: Hetzner, Harald, Tremmel, Stephan, Meerkamm, Harald
Format: Artikel
Sprache:ger
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